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Schichten aus Pyrokohlenstoff / –graphit

Pyrokohlenstoff
Hochreine Schichten aus Pyrokohlenstoff (PyC) werden primär zur Versiegelung der Oberflächen von Graphit oder CFC-Bauteilen eingesetzt, wodurch sich die Anwendungsgebiete dieser Bauteile stark erweitern lassen. Die Versiegelung führt einerseits dazu, dass es nicht mehr zur Abgabe von Partikeln kommt und chemische Verbindungen nicht mehr in die porösen Strukturen von Graphit und CFC eindringen können. Zum anderen ergibt sich durch die bedeutend höhere Beständigkeit des Pyrokohlenstoffs, im Vergleich zu Graphit und CFC, eine erhebliche Verlängerung der Lebenszeit unter korrosiven Bedingungen.

Ob Ofenbauteil, Trägerplatte oder Tiegel mit direktem Kontakt zu Schmelzen, die Anwendungen sind vielfältig. Kommt es auf hohe Reinheit und/oder chemische Beständigkeit und/oder geringe Partikelabgabe an, kann eine Schicht aus Pyrokohlenstoff die Lebensdauer eines hochwertigen Bauteils steigern. So sind die Halbleiterindustrie, die Medizintechnik, die Solarzellenindustrie, die Raumfahrttechnik oder die Analysentechnik einige der typischen Anwendungsfelder von Graphiten und CFC-Bauteilen mit Pyrokohlenstoffschichten.

Die Herstellung dieser Schichten erfolgt mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD = Chemical Vapour Deposition), wobei eine große Palette flüchtiger Kohlenwasserstoffe als Precursor in Frage kommen.

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